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该法原理是靠组分的渗透通过适当的薄膜而进入载气流中。气流中该组分的浓度由气流的流速和组分渗透率来决定。物质透过薄膜的扩散速率取决于物质本身，薄膜性质，管内外气体分压差等因素。如果保持扩散速率恒定，就可在相隔适当的时间以简单的称重来测定。所制备的标准混合气浓度是管子扩散速率和稀释气体流速的函数。本法通常用于所需要组分浓度范围为10-9～10-5(体积比)，可达准确度为组分浓度的2%。在所述浓度范围内，要保持混合气浓度稳定是困难的，因此，必须在使用前配制混合气，且以尽可能短的途径将其送到使用点。配制方法应遵照ISO6349的规定。
饱和法
气流通过一种保持在一定温度下，能够蒸发或升华的物质，达到平衡时，气流中该物质的浓度由所定温度下该物质的饱和蒸汽压决定。其原理是，同液体相平衡的纯气蒸汽压只取决于温度。若混合气的温度和总压已知，则它的浓度就可以计算出来。该法可用于连续制备标准混合气，配气准度可达到3%。配制方法应遵照ISO6147的规定。
静态容积法(Preparationof Calibration Gas Mixtures-Static Volumetric Method)
该法是将充装在两个或多个分别校准过体积的容器中的，处于已知温度和压力下的两种或多种气体进行混合，以制备混合气。所得混合气中某组分的体积比，可以由已知的经过校准的容器体积比来计算。假如混合气不呈理想状态，计算的体积比可能不同于摩尔比。该法适用于制备浓度为10-6～10-1(体积比)的标准混合气，其相对误差为10-3～10-2。配制方法应遵照ISO6144的规定。
